2月10日，位于中國(guó)光谷的長(zhǎng)飛先進(jìn)武漢基地項(xiàng)目一片繁忙景象，設(shè)備工程師們?cè)诰A制造車(chē)間內(nèi)緊鑼密鼓地調(diào)試設(shè)備。（湖北日?qǐng)?bào)全媒記者 任勇 通訊員 董藝虹 攝）

湖北日?qǐng)?bào)全媒記者 李源

通訊員 董藝虹 吳承鍇

開(kāi)年以來(lái)，位于中國(guó)光谷的長(zhǎng)飛先進(jìn)武漢基地項(xiàng)目持續(xù)加快廠房建設(shè)和設(shè)備調(diào)試進(jìn)程，沖刺4月底、5月初量產(chǎn)通線。

量產(chǎn)通線意味著生產(chǎn)線的各設(shè)備、工藝環(huán)節(jié)銜接打通，能夠全程順利生產(chǎn)指定的、合格的芯片晶圓。

2月14日，湖北日?qǐng)?bào)全媒記者夜訪長(zhǎng)飛先進(jìn)武漢基地，感受項(xiàng)目建設(shè)的火熱氛圍。

21時(shí)，從高新大道拐入未來(lái)一路，沿途一片靜謐。車(chē)行5分鐘，長(zhǎng)飛先進(jìn)武漢基地的碩大廠房映入眼簾，密集的燈光照亮夜空。

探訪項(xiàng)目，不時(shí)可見(jiàn)車(chē)輛、人員進(jìn)出?！懊刻焱砩隙加?00多名建設(shè)人員加班加點(diǎn)?！背薪ǚ健薪ㄒ痪纸ㄔO(shè)發(fā)展公司項(xiàng)目負(fù)責(zé)人萬(wàn)軍說(shuō)。

21時(shí)30分，記者戴好安全帽、穿上反光馬甲，跟隨萬(wàn)軍走進(jìn)生產(chǎn)調(diào)度大樓。一樓大廳里，泥瓦工張師傅點(diǎn)著一盞LED燈，正在鋪設(shè)地板磚。

“晚上室外施工不方便，室內(nèi)能趕一點(diǎn)就趕一點(diǎn)?！比f(wàn)軍說(shuō)，去年6月全面封頂后，項(xiàng)目部持續(xù)加大人員、機(jī)械設(shè)備投入力度。目前廠房建設(shè)接近完成，收尾階段主要開(kāi)展幕墻安裝、內(nèi)部裝修和園區(qū)綠化等工作，參建人員超過(guò)1000人。

生產(chǎn)調(diào)度大樓通過(guò)連廊與晶圓廠連接。22時(shí)，記者換上防塵服，在濕法工程師洪紹鑫的帶領(lǐng)下參觀產(chǎn)線。

面積近乎半個(gè)標(biāo)準(zhǔn)足球場(chǎng)大小的車(chē)間里，生產(chǎn)設(shè)備整齊安放。上方，具備全球領(lǐng)先水平的智能送料天車(chē)正在“歡快”試跑。穿著藍(lán)色防塵服的工程師們?nèi)宄扇?，調(diào)試運(yùn)行參數(shù)、探討流程優(yōu)化。

年前，長(zhǎng)飛先進(jìn)武漢基地首批100多臺(tái)設(shè)備進(jìn)駐車(chē)間。“比如這組濕法設(shè)備，主要負(fù)責(zé)晶圓蝕刻、清洗等關(guān)鍵工藝，藥水配比精不精準(zhǔn)關(guān)乎產(chǎn)品良率高不高，要確保生產(chǎn)流程穩(wěn)定、均勻，誤差波動(dòng)小，投產(chǎn)前的密集調(diào)試不可或缺?！焙榻B鑫說(shuō)。

去年11月底開(kāi)始，200多名工程師陸續(xù)從長(zhǎng)飛先進(jìn)蕪湖基地來(lái)到武漢。2個(gè)多月時(shí)間里，大家“5+2”“白加黑”，馬不停蹄地安裝、調(diào)試設(shè)備。過(guò)年期間，100多名工程師放棄休假堅(jiān)守崗位，為的就是讓設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)再穩(wěn)一點(diǎn)、投產(chǎn)時(shí)間再早一點(diǎn)。

長(zhǎng)飛先進(jìn)武漢基地總投資超過(guò)200億元，聚焦第三代半導(dǎo)體功率器件研發(fā)與生產(chǎn)，達(dá)產(chǎn)后每年可生產(chǎn)36萬(wàn)片6英寸碳化硅晶圓，可滿(mǎn)足144萬(wàn)輛新能源汽車(chē)的制造需求。

第三代化合物半導(dǎo)體在新能源汽車(chē)、光伏儲(chǔ)能、電力電網(wǎng)、軌道交通等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用場(chǎng)景，而我國(guó)擁有第三代化合物半導(dǎo)體的最大應(yīng)用市場(chǎng)，發(fā)展第三代化合物半導(dǎo)體對(duì)于提升國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力具有重要意義。

在長(zhǎng)飛先進(jìn)武漢基地展廳內(nèi)的墻上，5組數(shù)字引人注目——2023年9月1日，破土動(dòng)工；2024年6月，結(jié)構(gòu)封頂；2025年1月，設(shè)備搬入；2025年7月，量產(chǎn)通線；2026年年底，達(dá)到滿(mǎn)產(chǎn)。

“截至目前，武漢基地的各個(gè)重大節(jié)點(diǎn)均提前于開(kāi)工前設(shè)定的目標(biāo)，我們離‘圓夢(mèng)’越來(lái)越近了?！遍L(zhǎng)飛先進(jìn)有關(guān)負(fù)責(zé)人說(shuō)。